一种酸性蚀刻液及其制备工艺

本发明属于酸性蚀刻液技术领域，特别是涉及一种酸性蚀刻液及其制备工艺。一种酸性蚀刻液，按重量份数包括浓度为10‑15wt%的植酸溶液0.1‑5份、浓度为60‑65wt%的多聚磷酸溶液0.2‑7份、浓度为30‑35wt%的过氧化氢溶液0.2‑4.5份、浓度为20‑25wt%的苹果酸溶液0.1‑1.5份、浓度为5‑10wt%的没食子酸溶液0.05‑1份、水60‑100份。所制备的酸性蚀刻液对AlSb和InAs具有相同或较近的腐蚀速度，能够实现对InAs/AlSb材料的非选择性的刻蚀，同时下切效应和横向钻蚀宽度小，台阶侧壁较平缓，利于钝化膜的覆盖，腐蚀速率适中，可控性强。