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案件記録
一种双开的点源蒸发镀膜设备
発明有効
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§ Ⅰ
案件概要
発明者
吴子敬; 付文; 刘旭; 曹志强; 尹翔
IPC分類
C23C 14/26 (2006.01)C23C 14/56 (2006.01)C23C 14/54 (2006.01)
本申请公开了一种双开的点源蒸发镀膜设备,属于镀膜设备的技术领域,其包括真空腔室、真空泵组、卷绕车系统及工艺车系统,所述真空腔室位于所述卷绕车系统和所述工艺车系统中间,所述工艺车系统包括工艺车架,所述工艺车架的底部安装有车轮,所述工艺车架上安装沿竖向滑移安装有升降座,所述升降座上安装有密封法兰,所述密封法兰的顶部安装有蒸发源,所述真空腔室的底面开设有用于安装所述密封法兰的法兰口,所述工艺车架上设置有用于驱动所述升降座沿竖向移动的驱动组件。本申请具有操作方便且危险性较小的效果。
§ Ⅵ
特許図面
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外部リソース