一种具有表面纳米化的高纯铝靶材及制备方法

本发明公开了一种具有表面纳米化的高纯铝靶材及制备方法，包括以下步骤：S1，将高纯铝铸锭进行室温冷轧处理获得靶材毛坯；S2，将冷轧后的靶材毛坯进行喷丸处理；S3，将喷丸处理后的靶材毛坯进行退火处理获得表面晶粒尺寸为300～800nm的高纯铝靶材。本发明在靶材制备过程中，引入喷丸工艺进行表面改性，使材料表面塑性变形更加距离，增加材料表面位错密度，使得变形储能增加，之后通过再结晶退火处理，从而在靶材表面形成一层均匀细密的纳米晶结构。