一种在硬质合金基底制备碳化硅涂层的方法

本发明涉及碳化硅涂层的制备技术领域，具体涉及一种在硬质合金基底制备碳化硅涂层的方法。所述方法包括以下步骤：首先对硬质合金基底进行预处理，随后将预处理后的基底放入热丝化学气相沉积设备内的夹具上，然后向反应腔内通入四甲基硅烷和氢气，通过热丝激发前驱体裂解，在硬质合金基底表面得到致密均匀的碳化硅涂层，同时提供了一种性能更优异的硬质合金基底。本发明拓宽了碳化硅涂层制备技术的适用基底，拓展了碳化硅涂层的应用范围，通过本发明在硬质合金基底制备的碳化硅涂层具有较高的纯度、良好的结晶质量、优异的膜基附着强度，应用于硬质合金刀具表面可以显著提升刀具耐磨性能和使用寿命。