一种TOPCON电池PECVD炉管维护后的复机方法

本发明提供了一种TOPCON电池PECVD炉管维护后的复机方法，包括如下步骤：将炉管内部在2～3h内升温至第一温度，且在升温至第一温度的过程中对炉管内部进行氮气吹扫；第一温度为180～220℃；在2～3h内继续升温至第二温度，且在升温至第二温度的过程中对炉管内部继续进行氮气吹扫；第二温度为450～490℃；将石墨舟本体置于炉管内部，在炉管内部温度450～490℃的恒温条件下，对石墨舟本体和炉管内壁进行氮化硅饱和沉积处理；沉积完成后取出石墨舟本体；将待处理硅片置于石墨舟本体内并送入炉管内部以便进行复机后镀膜生产，解决了现有技术中复机后电池性能变差以及硅片镀膜后外观有色差的问题。