一种腐蚀液及电极箔的深度腐蚀工艺

本发明公开了一种腐蚀液及电极箔的深度腐蚀工艺，属于电容器制造技术领域，深度腐蚀工艺是将中高压阳极铝箔进行预处理、阳极氧化处理、水合处理后进行深度腐蚀扩孔，采用快速阳极氧化辅助水合处理在铝箔表面构建出凹坑、水合膜复合模板，并引导铝箔腐蚀发孔时孔道的形核，在其表面形成均匀且有序的AAO模板（多孔阳极氧化铝模板），隧道孔并孔和未腐蚀区域的比例降低，显著减少铝箔的氧化减薄，并为后续腐蚀提供定向引导框架，在深度腐蚀扩孔过程中，腐蚀液中的复合二氧化硅粉末会进入凹坑模板中，并在电场作用下释放金纳米颗粒，产生局部等离子体热效应，加速孔底铝离子的溶解，推动孔道向内部延伸。