一种一体式高精度平面电感式直线位移传感器

本发明提供一种一体式高精度平面电感式直线位移传感器，包括：外壳、盖板、动尺、定尺、滑块、滑板、推杆、侧面盖板。动尺和定尺之间气隙间距在测量过程中始终保持恒定一致的工作状态，解决了传统直线位移传感器因气隙波动导致的精度偏差问题，同时也解决了力学环境适应性差的问题，有效抑制了力学环境振动、冲击导致的动尺晃动导致的测量误差波动。