一种基于红外激光直写的柔性应变传感系统的制备方案

本发明公开了一种基于红外激光刻蚀的柔性应变传感系统的制备方案，属于柔性电子器件制备技术领域。该方案通过在弹性基底未固化时，采用不同功率的红外激光加热实现区域化杨氏模量定制，结合图案化刻蚀与后续化学镀铜工艺，完成应变传感器与互联导线的一体化共集成。系统柔性基底由硅胶高分子聚合物、纳米导电材料、化学镀催化剂及吸光剂组成，基底杨氏模量通过红外激光功率调控固化温度，进而改变交联密度实现梯度调节。其核心优势在于通过优化模量分布，使拉伸时应力集中于传感器区域，既保护互联导线又提升传感灵敏度，同时具备低成本、大规模制备能力，能广泛应用于电子皮肤、结构健康监测、柔性飞行器蒙皮等多个领域。