适用于机器人的柔性高稳定压电触觉传感器及制备方法

本发明涉及一种适用于机器人的柔性高稳定压电触觉传感器及制备方法，属于传感器技术领域，其包括耐磨柔性接触层、PZT压电感知阵列层、信号放大层和硅胶基底，PZT压电感知阵列层和信号放大层相互连接，且均设置于耐磨柔性接触层和硅胶基底之间；所述PZT压电感知阵列层的PZT薄膜受力产生的压电信号经铂底电极收集，依次通过金薄膜、蛇形铜箔线路传输至信号放大层的SiNM n‑MOSFET放大模块放大后输出，兼顾高灵敏度与柔性适配，可完全贴合机器人指尖曲面，适配多指灵巧手、单指抓取手等不同结构。