一种界面态测试方法及可靠性测试方法

一种界面态测试方法及可靠性测试方法，属于功率器件测试技术领域，所述界面态测试方法，包括如下步骤：对待测器件的栅极按时序施加若干簇脉冲电压，获取每一簇脉冲对应的电荷泵电流；根据每一簇脉冲对应的电荷泵电流，获得待测器件的电荷泵曲线；根据待测器件的电荷泵曲线，计算待测器件的界面态分布的平均值。本申请无需在漏‑源极回路施加偏压，通过控制栅极脉冲并测量漏极电流，即可较为准确地提取单个垂直MOSFET器件的界面陷阱信息。