一种基于芯片非均匀性效应的筛选方法

本发明提供了一种基于芯片非均匀性效应的筛选方法，它包括以下步骤：获取晶圆探针测试数据，并建立与晶圆芯片空间分布对应的坐标系；对得到的晶圆探针测试数据进行环形分组统计，通过分析分组统计结果识别晶圆是否存在径向效应或边缘效应；若判定晶圆不存在径向效应及边缘效应，则采用全局统计方法对整个晶圆的探针测试数据进行筛选；若判定晶圆存在径向效应或边缘效应，则先将晶圆划分为内径区域与外径区域，再对内径区域的探针测试数据采用全局统计方法筛选，对外径区域的探针测试数据采用残差滤波结合中位绝对偏差法筛选；根据筛选结果，剔除失效芯片。本发明避免因未识别非均匀效应而误判的问题，提升效应识别准确性。