基于图案化GaN和石墨烯异质结超表面调制器及制作方法

本发明涉及太赫兹波调制器技术领域，尤其涉及一种基于图案化GaN和石墨烯异质结超表面调制器及制作方法，以突破现有石墨烯基调制器的性能瓶颈，提供一种不仅能实现深度幅度调制，还能实现显著相位调制的多维太赫兹波调制器；提供一种能同时响应光、电等多种外部激励，并实现多种调制模式集成的多功能太赫兹调制器件。