一种具有高精度对位的ODF真空贴合设备

本发明公开了一种具有高精度对位的ODF真空贴合设备，包括工作台、连接座和真空抽气装置，工作台通过升降机构与连接座连接，连接座上连接有第一吸附平台，第一吸附平台的外侧设有第一箱体，工作台上设有多个水平活动组件，水平活动组件上连接有旋转座，工作台上设有第二吸附平台，旋转座与第二吸附平台连接，第二吸附平台的外侧设有第二箱体，第二箱体上开设有多个观察窗，第一箱体与第二箱体合并组成封闭箱，真空抽气装置与封闭箱连通，工作台上设有第一驱动机构、第二驱动机构和第三驱动机构，工作台上设有视觉机构。本发明提供一种具有高精度对位的ODF真空贴合设备，在贴合玻璃基板时，实时调节其位置和角度，提升两片玻璃基板的贴合精度。