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案件記録

双模射频匹配网络选择系统及方法

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§ Ⅰ

案件概要

発明者

吴意灏; 杨楠楠

IPC分類

H01J 37/32 (2006.01)C23C 16/505 (2006.01)C23C 16/52 (2006.01)C23C 16/455 (2006.01)

本发明公开了双模射频匹配网络选择系统及方法。所述系统包括:包括输入功率检测单元、开关切换单元、π型匹配网络以及T型匹配网络;输入功率检测单元与电源连接,且输入功率检测单元与开关切换单元连接;开关切换单元分别与π型匹配网络以及T型匹配网络连接;其中,通过输入功率检测单元确定电源的输入实际功率大小,驱动开关切换单元进行工作,以切换至π型匹配网络或T型匹配网络工作。通过实施本发明的方法可实现能够灵活适应不同功率水平和工艺要求,能够在保证高稳定性的同时,也能适应广泛的阻抗变化,并避免因误判而导致的性能下降问题。

外部リソース