声表面波谐振器的形成方法

一种声表面波谐振器的形成方法，包括：提供压电层；在所述压电层上形成电极材料层；在所述电极材料层上形成非晶硅层，所述非晶硅层的厚度小于300埃；在所述非晶硅层上形成光刻胶层，对所述光刻胶层进行曝光、显影，形成图形化层，所述图形化层暴露出部分所述非晶硅层表面；以所述图形化层为掩膜刻蚀所述非晶硅层和所述电极材料层，直至暴露出所述压电层表面，在所述压电层上形成叉指换能器，所述叉指换能器包括沿第一方向排列的若干叉指电极。所述方法形成的叉指电极尺寸均匀度和形貌较好。