一种日盲紫外探测器及其制备方法

本发明提供一种日盲紫外探测器及其制备方法，探测器自下而上包括外延衬底、GaO外延膜、欧姆接触电极和肖特基接触电极；肖特基接触电极由采用MXene材料的肖特基接触层和电极引出层构成，肖特基接触层与GaO外延膜形成肖特基势垒接触。制备方法包括：在衬底上气相外延生长GaO外延膜并清洗；通过磁控溅射与退火形成欧姆电极；采用MXene材料在GaO外延膜形成肖特基接触层，再在肖特基接触层上制备引出电极。本发明利用MXene/GaO异质结实现自供电工作，具有极低暗电流和静态功耗，同时兼具超高的响应度、快响应速度和强日盲紫外探测能力。