一种PE-poly加工方法及TOPCon电池

本发明公开了一种PE‑poly加工方法及TOPCon电池，该加工方法为：将碱抛后的硅片送入反应腔室，向反应腔室通入反应气体，使用方波电源在反应腔室内诱发辉光放电以构造低温等离子体，依次在硅片表面制备第一隧穿氧化层、第一掺磷非晶硅层、第二隧穿氧化层以及第二掺磷非晶硅层，第二掺磷非晶硅层的含磷量大于第一掺磷非晶硅层的含磷量。本发明PE‑poly加工方法通过使用方波电源，以方波电源周期内长时间保持稳定电压水平、电压方向切换时间短等特点，在反应腔室中维持稳定、持续的辉光放电，有效抑制poly粉尘的产生，并通过在硅片上分次制备第一隧穿氧化层、第一掺磷非晶硅层、第二隧穿氧化层以及第二掺磷非晶硅层，获得良率更高、电性能效率更好的电池片。