一种异质金属键合工艺质量和可靠性评价方法

本发明公开了一种异质金属键合工艺质量和可靠性评价方法，包括：制作评价载体；结合产品应用环境，按照“试验前阻抗测试——施加应力——阻抗测试”的步骤进行不同应力下的评价试验，记录不同试验时间点的阻抗测试数据或在线连续采集阻抗数值，进行阻抗数据的拟合，获得键合点质量的退化情况及规律；利用已知的可靠性模型，进行寿命和可靠性预计。本发明制作异质金属键合评价载体，采用累积法——键合点串联的方式放大键合阻抗，通过施加电流、温度应力，监测键合阻抗的变化，综合评价键合质量，并能掌握键合点退化的趋势规律。