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案件記録

封装设备

発明有効
9請求項 · 1 独立
§ Ⅰ

案件概要

出願人

灌南县汇芯科思通信技术有限公司

発明者

请求不公布姓名; 请求不公布姓名

IPC分類

B24B 37/10 (2012.01)B24B 37/34 (2012.01)B24B 57/02 (2006.01)H10P 52/00 (2026.01)

本发明涉及一种封装设备,包括固定底座,所述固定底座上转动设置有研磨盘,所述研磨盘上设置有用于对晶圆进行固定的定位机构,所述固定底座上固定有支撑架,所述支撑架上滑动设置有用于向所述研磨盘添加研磨液的加料柱;所述固定底座上转动设置有转轴,所述转轴的端部与所述研磨盘固定,所述转轴的圆周上固定有圆盘,所述圆盘上开设有环形滑槽,所述环形滑槽内滑动设置有升降杆;本技术方案在研磨盘转动时,能够带动加料柱沿着支撑架进行左右往复运动,从而方便加料柱从外向内以及从内向外的将研磨液添加到研磨盘上,使得研磨液的添加更加均匀,提高研磨效果。

外部リソース