多规格晶锭集成抓取机构

本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及多规格晶锭集成抓取机构。主要包括具备吸附‑夹持协同抓取功能的机构本体和具备吸附‑夹持协同控制功能的控制系统。本申请通过建立晶锭尺寸与吸盘空间分布的定量匹配规则，结合最小临界吸附力动态扩展算法，确保启用的吸盘组既能被晶锭完全覆盖以实现有效吸附，又能满足抓取稳定性所需的最小总吸附力，最终实现在保障抓取可靠性的同时，显著降低真空系统能耗并避免晶锭机械应力集中。