一种基于激光和离子束的金刚石微米-纳米线制造方法

本发明公开了一种基于激光和离子束的金刚石微米‑纳米线制造方法，属于微纳米加工技术领域，该方法首先通过化学气相沉积制备掺硼金刚石膜，经抛光清洗后，利用飞秒激光快速加工出金刚石微米线；随后，再利用聚焦离子束对微米线进行纳米级精刻蚀，最终得到金刚石纳米线。本发明通过飞秒激光与聚焦离子束的工艺协同与参数优化，实现了高效与高精度的完美结合，有效克服了单一技术存在的加工损伤、效率低下或精度不足等问题，为高性能金刚石纳米器件的制造提供了可靠的技术方案。