一种接枝光致产酸剂的多面体笼型聚倍半硅氧烷光刻胶及其制备方法及应用

本发明公开了一种接枝光致产酸剂的多面体笼型倍半硅氧烷光刻胶，包括接枝光致产酸剂的多面体笼型倍半硅氧烷和有机溶剂，接枝光致产酸剂的多面体笼型倍半硅氧烷为式（1）所示化合物中的一种或多种：式(1)中，R为环氧基团，R为产酸基团。本发明将产酸基团引入笼型倍半硅氧烷中，可以抑制光酸的迁移和扩散，解决了光致产酸剂分布不均和酸扩散效应导致的分辨率降低和线边缘粗糙度增加的问题，本发明的光刻胶具有更高的灵敏度、对比度、分辨率以及更低的线边缘粗糙度。本发明的光刻胶在保持较好的分辨率的前提下，显著提高了灵敏度，具有重要的应用价值和广阔的市场前景。(1)