一种抽气环组件及工艺腔室

本发明提供了一种抽气环组件包括：第一抽气环，环绕加热盘，所述第一抽气环上设有朝向第一方向的多个第一抽气孔，各所述第一抽气孔包括第一粗段及第一细段，并经由第一抽气路径连接真空机构，其中，所述第一粗段中设有第一堵头，所述第一堵头靠近或远离所述第一细段，以调节所述第一抽气孔的流阻。