検索に戻る
案件記録
对基材进行热处理的方法和设备
発明有効
3閲覧数
11請求項 · 2 独立
§ Ⅰ
案件概要
発明者
P·S·劳弗
IPC分類
C23C 16/46 (2006.01)C23C 16/52 (2006.01)
本发明涉及一种用于对基材进行热处理的方法,其中,基座(5)承载至少一个基材,由加热装置(13)加热,并且围绕转动轴线(A)被转动驱动,其特征在于,在相对于壳体(1)位置固定的热影响区(17)处,热量随着基座(5)的转动同步地从基座(5)导出。此外,本发明还涉及一种用于对基材进行热处理的设备。
外部リソース