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案件記録

对基材进行热处理的方法和设备

発明有効
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§ Ⅰ

案件概要

IPC分類

C23C 16/46 (2006.01)C23C 16/52 (2006.01)

本发明涉及一种用于对基材进行热处理的方法,其中,基座(5)承载至少一个基材,由加热装置(13)加热,并且围绕转动轴线(A)被转动驱动,其特征在于,在相对于壳体(1)位置固定的热影响区(17)处,热量随着基座(5)的转动同步地从基座(5)导出。此外,本发明还涉及一种用于对基材进行热处理的设备。

外部リソース