一种基材活化辅助气溶胶沉积薄膜的制备方法

本发明涉及一种基材活化辅助气溶胶沉积薄膜的制备方法，气溶胶沉积薄膜之前先进行基材的活化，所述基材活化的步骤为在25±1℃、50‑100Pa的压力下，依次进行氩气、氧气、氮气的等离子体活化处理，氩气等离子体活化用于清除表面有机物，去除弱边界层，形成一定的粗糙结构，增加了表面积；氧气等离子体在基材表面生成大量羟基等极性基团；氮气等离子体将基材氮化，生成Al‑N键，提高表面能，形成强界面；经实验证明，相比于未活化的基材，气溶胶沉积后的涂层与基材表面的结合强度从17.2MPa提升至33.5MPa，SEM图显示活化后的基材与涂层之间界面清晰，涂层均匀，孔隙率低。