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案件記録
一种耐腐蚀性的镀金钯铜丝及其制备方法和应用
発明有効
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§ Ⅰ
案件概要
発明者
林良; 王岩; 赵启燕; 王雅平; 祝海磊; 刘炳磊
IPC分類
C23C 28/02 (2006.01)C23C 18/44 (2006.01)C25D 7/06 (2006.01)C25D 3/52 (2006.01)C25D 5/50 (2006.01)C22F 1/02 (2006.01)C22F 1/08 (2006.01)C21D 9/52 (2006.01)
本发明属于集成电路技术领域,具体涉及一种耐腐蚀性的镀金钯铜丝及其制备方法和应用;所述制备方法,包括以下步骤:采用预镀钯液在铜基线表面进行预镀钯,形成第一钯层;采用增镀钯液在第一钯层表面进行增镀钯,形成第二钯层;采用电镀金液在第二钯层表面进行镀金,形成镀金层,得半成品;对半成品进行第一次退火、拉丝和第二次退火即得;本发明提供的耐腐蚀性的镀金钯铜丝具有优异的可键合性和耐腐蚀性。
外部リソース