薄膜检查装置和方法

公开了薄膜检查装置和方法。用于检查具有变化的折射率的薄膜的该装置包括：光源，朝向薄膜的第一表面发射第一光，第一光以相对于第一表面的第一角度入射在第一表面上；以及光接收部分，检测从薄膜的第二表面发射的第二光，第二光以相对于第二表面的第二角度发射，其中，第一表面是薄膜的上表面和下表面中的一个，并且第二表面是薄膜的上表面和下表面中的剩余的(另)一个。