一种面向超高频激光测振仪器的模块化正交解耦隔振系统

本发明涉及振动控制技术领域，提供了一种面向超高频激光测振仪器的模块化正交解耦隔振系统，包括承载平台、刚性支撑梁、Z轴隔振层、X轴隔振层、Y轴隔振层、Z轴基础隔振单元、Y轴基础隔振单元、X轴基础隔振单元；X轴基础隔振单元、Y轴基础隔振单元、Z轴基础隔振单元为同一隔振组件，均能沿单一方向运动且具备相同力学特性，仅安装位置存在差异；X轴隔振层、Y轴隔振层与Z轴隔振层自下而上依次串联连接；承载平台用于安装超高频测振仪器，且承载平台通过刚性支撑梁以螺栓连接的方式固定在Z轴隔振层上。解决现有超高频激光测振仪器中气浮隔振平台气动回路等结构复杂、多自由度隔振性能耦合、隔振频段受限等问题。