气体浓度检测装置及实时检测方法

本申请涉及一种气体浓度检测装置及实时检测方法。该气体浓度检测装置，用于实时检测半导体设备的第一气路中的多元混合气体中待测气体的浓度，该装置包括测量腔、参考腔、第一超声波发射换能器、第一超声波接收换能器、第二超声波发射换能器、第二超声波接收换能器与处理器；第一超声波接收换能器接收第一超声波信号并检测第一声压值；第二超声波接收换能器接收第二超声波信号并检测第二声压值；处理器基于第一超声波信号与第二超声波信号计算第一超声波信号的声速，基于第一声压值与第二声压值得到待测气体的第二衰减系数，基于上述的声速与第二衰减系数计算待测气体的浓度。本申请的技术方案，可以提高在多元混合气体环境中气体浓度检测的精度。