多尺度特征差异比对的零样本晶圆缺陷检测方法及系统

本发明公开了一种多尺度特征差异比对的零样本晶圆缺陷检测方法及系统，方法包括：获取预处理后的标准图像和待检图像，对标准图像和待检图像在空间对齐；构建预训练的深度卷积神经网络，固定深度卷积神经网络的网络权重，使用深度卷积神经网络对标准图像和待检图像进行多层次特征提取，并分别获取每一层次的特征图；基于特征图，分别计算标准图像和待检图像相同空间位置的概率向量，根据概率向量计算散度值，并生成差异图；融合不同层次的差异图，获取综合差异图，对综合差异图进行后处理，并输出二值化缺陷定位图，用于自动光学检测。本发明极大地降低了对数据的依赖、简化了部署流程、缩短了部署周期并降低了应用成本。