射频电源控制设备、方法和半导体制造设备

本申请涉及一种射频电源控制设备、方法和半导体制造设备。射频电源控制设备包括第一射频电源和至少一个第二射频电源，第一射频电源与至少一个第二射频电源通信连接；第二射频电源用于向第一射频电源发送第一电源数据；第一射频电源用于接收第一电源数据，并根据第一电源数据调整第一射频电源的功率输出特性，以使第二射频电源的匹配状态为匹配。本申请提供的射频电源控制设备能够提高对各射频电源进行控制的实时性。