一种磁性随机存储器的测试结构制备方法及测试结构

本发明公开了一种磁性随机存储器的测试结构制备方法及测试结构，应用于缺陷检测领域，包括：提供一个未经刻蚀的待测MTJ膜，在待测MTJ膜的上表面制备第一连通层；待测MTJ膜为未额外连接MTJ膜的独立结构；第一连通层中设置有暴露出待测MTJ膜的连接点的第一通孔；在第一通孔中填充导电结构，并在第一连通层的上侧制备与第一通孔中的导电结构连接的连接引线，以及与连接引线的另一端连接的测试点，完成磁性随机存储器的测试结构的制备。本发明将待测MTJ膜的连接点引出，只对一个未经刻蚀的，独立的待测MTJ膜进行加工制备，提高了探针检测的长期稳定性，同时无需对待测MTJ膜进行刻蚀处理，提高了测试结果的反馈速率。