一种基于晶格失配驱动的钙钛矿型过渡金属氧化物器件及其制备方法和应用

本发明涉及半导体晶片技术领域，尤其涉及一种基于晶格失配驱动的钙钛矿型过渡金属氧化物器件及其制备方法和应用，包括：S1、将STO衬底进行清洗，得到预处理后STO衬底；S2、采用脉冲激光沉积法在预处理后STO衬底表面沉积功能层，利用图形化电极引入的应力场调控，使功能层在生长过程中自组装形成具有不同晶格取向的本征纳米结构，得到自组装拓扑相变薄膜；S3、对自组装拓扑相变薄膜进行光刻处理，然后在薄膜表面继续沉积顶电极层，除去光刻胶玻璃，得到钙钛矿型过渡金属氧化物器件。本发明技术方案实现了水平‑垂直本征自组装纳米结构，无需额外刻蚀即可极大降低阵列存储单元之间的串扰问题。