使用氟及金属卤化物来蚀刻金属氧化物

本公开内容的实施例提供用于蚀刻氧化物材料的多种方法。本公开内容的一些实施例提供优先于其他材料而选择性蚀刻氧化物材料的方法。在一些实施例中，本公开内容的方法是通过原子层蚀刻（ALE）执行。在一些实施例中，本公开内容的方法是在包括镍腔室材料的处理腔室内执行。