利用醇在含硅表面上金属膜的区域选择性沉积

一种用于选择性钝化衬底表面的方法，其中衬底表面包括包含氮化硅的至少第一表面和包含氮化硅以外的材料的至少第二表面。该方法包括将表面暴露于至少一种醇的步骤，其中醇选择性地与氮化硅反应以钝化第一表面，从而使第二表面基本上未反应。