成膜装置

本发明提供一种成膜装置，其稳定地同时供给多种工艺气体。一种成膜装置，在可将第1原料气体、第2原料气体、反应气体供给至处理容器的成膜装置中，具备：可将所述第1原料气体和所述第2原料气体同时供给至所述处理容器的气体供给时机调整机构，以及控制所述气体供给时机调整机构的控制部。