制造用于物体保持器的电极的方法

一种制造用于物体保持器的电极的方法，所述方法包括在第一绝缘层上形成至少两个电极部分，所述至少两个电极部分彼此间隔开，在所述第一绝缘层上在所述至少两个电极部分之间形成至少一个绝缘部分，使得所述至少一个绝缘部分填充所述至少两个电极部分之间的空间，并且所述至少两个电极部分与所述至少一个绝缘部分形成平面表面，以及将第二绝缘层键合至所述平面表面。