自动化机械调整粒子束柱的方法，相关计算机程序产品以及粒子束柱

本发明公开了用于粒子束柱的多种自动化机械调整方法。举例来说，因此能够快速且精确地调整束产生器、聚光器透镜系统、检测系统和物镜系统。机械调整方法可与电气调整方法结合。