观察辅助装置

试样的观察辅助装置具备观察位置显示部、显示处理部、代表图像登记处理部、坐标变换处理部、输入设备监视处理部以及条件控制部，上述显示处理部根据上述图像显示部的倍率被变更的情况，将上述代表图像控制为容易视觉辨认的尺寸并显示于观察位置显示部，上述输入设备监视处理部取得上述光标的位置，根据上述光标的位置取得与上述代表图像建立了关联的载物台坐标，上述条件控制部进行处理以使上述带电粒子束装置的载物台移动到与上述代表图像建立了关联的载物台坐标。