一种MEMS静电刚度-阻尼调控方法

本发明公开了一种MEMS静电刚度‑阻尼调控方法，属于MEMS技术领域。本发明通过将MEMS平行板电容结构与RC元件串联组成静电刚度‑阻尼调控元件，通过在差分式平行板电容结构的两组固定极板上施加一对符号相反的直流驱动电压、交流驱动电压和载波电压，可同时实现MEMS器件的位移检测和谐振驱动，并可通过调节所述MEMS平行板电容结构的参数、所述RC元件的参数、直流驱动电压或交流驱动电压，实现对所述MEMS器件的等效静电刚度和等效静电阻尼的调控。本发明中MEMS静电刚度‑阻尼调控方法简单，作为谐振驱动器使用时可抑制驱动电压信号泄露，同时可兼容MEMS器件结构设计。