一种线型蒸发源及共蒸镀蒸发源

本发明公开了一种线型蒸发源及共蒸镀蒸发源，属于真空镀膜设备技术领域，旨在解决现有技术加热不均、热辐射溢出严重、喷嘴易冷凝及维护不便的问题。该线型蒸发源包括设有腔室和喷嘴的本体，其关键在于，本体上开设有不贯通至腔室的狭缝，狭缝内设有加热源，加热源向腔室所在的本体壁加热。该设计实现了高效、均匀的直接加热，热量通过本体壁传导可有效加热喷嘴防止冷凝，且模块化结构便于维护。狭缝设于底部和顶部，或两侧壁上，以优化热场并抑制热辐射。此外，还可设置主干‑支干式加热网络、腔内整流板或集成多个单元形成共蒸镀源。本发明特别适用于金属等高熔点材料的蒸镀，具有加热效率高、温度控制精准、膜厚均匀性好及维护便捷的优点。