一种基于原子层沉积的钙钛矿薄膜表界面水处理方法

本发明属于能源材料和光电显示领域，具体公开了一种基于原子层沉积的钙钛矿薄膜表界面水处理方法，其特征在于，包括如下步骤：在洁净的基板上制备钙钛矿薄膜；将钙钛矿薄膜放置于原子层沉积设备的反应腔中，然后对反应腔抽气并加热；设置沉积模式和沉积工艺参数，反应腔中通入水前驱体对钙钛矿薄膜进行含量可控的表界面水处理；对反应腔进行降温和充气，取出水处理后的钙钛矿薄膜样品。本发明工艺简单、操作简便、速度快、成本低，且能精确控制水分子数量，有效钝化薄膜表面及内部的缺陷，大大提高钙钛矿的质量和发光效率，为钙钛矿薄膜及其器件的性能提升提供一种新思路。