一种助熔剂法生长氮化镓单晶的对流频差调控装置

本发明属于晶体材料制备技术领域，具体涉及一种助熔剂法生长氮化镓单晶的对流频差调控装置。包括：生长腔体，内设有反应釜体，反应釜体内设有籽晶和单晶生长熔液，反应釜体的底壁为扇形凹凸结构，均布对称设有至少2个超声对流驱动单元，每个超声对流驱动单元包括：至少2个变幅座，沿扇形凹凸结构径向均布对称设置，每个变幅座的下端均连接有一个传动杆，每个传动杆均连接有一个压电换能器，所有压电换能器均连接超声驱动控制源。本发明通过超声驱动控制源产生不同频率的驱动电信号，变幅座对反应釜体施加不同频率的超声波，以使单晶生长熔液在籽晶表面附近区域形成压力差，驱动单晶生长熔液形成可控的推‑吸式环对流。