一种大尺寸超低氧单晶硅的制备方法

一种大尺寸超低氧单晶硅的制备方法，涉及超低氧单晶硅拉制技术领域，包括化料工序，化料完成后，打开CUSP勾型磁场，控制晶转方向和埚转方向相同，拉制超低氧单晶硅，在化料完成后、拉制超低氧单晶前，关闭CUSP勾型磁场，控制晶转的方向和埚转的方向相反，拉制至少一根过渡晶棒，本发明能够降低单晶硅内的氧含量，得到超低氧单晶硅。