一种提升液相外延碲镉汞薄膜均匀性的装置及方法

本发明公开了一种提升液相外延碲镉汞薄膜均匀性的装置及方法，包括气流导入管、含导气槽盖板、固定模块、自由滑动模块、样品承载台和支撑架。本发明在母液槽四周设计了四个用于热交换的储气槽，通过控制热交换气体的温度，形成一个由母液四周向母液中心逐渐降低的温度场，与中间温度高、四周温度低的原始母液温场结构刚好相反，通过相互抵消，形成高均匀性温场结构；同时，为能实现实时调整温场结构，在支撑架结构上设计了三个处于同一水平面且相互平行的圆柱形槽，可分别配置多根热电偶实时获得温度分布矩阵图，用于对热交换气体的温度实时调整，保证整个外延生长过程中的高温场均匀性，有效支撑高均匀性的超大尺寸碲镉汞薄膜的液相外延生长。