一种激光差动共焦显微-振动同步检测方法与装置

一种激光差动共焦显微‑振动同步检测方法与装置，属于显微成像技术和动态检测技术领域。本发明的装置包括激光发射模块、第一分光镜、聚焦系统、被测动态样品、三维扫描系统、差动共焦探测系统、测控系统。本发明在样品振动状态中进行轴向扫描获取振动耦合的激光差动共焦轴向响应信号，采用小波变换从振动耦合的激光差动共焦轴向响应信号中提取几何信息和焦点位置，动态对焦并再次采集焦点电压波形，结合傅里叶变换提取高精度频率和振幅信息。本发明能在器件动态状态下检测而无需状态切换，通过一次轴向扫描过程同步获取几何信息与高精度振动信息，搭配逐点扫描装置可实现振动样品微区几何形貌和振动参数的同步、原位、高分辨、高精度检测与成像。