一种陶瓷芯叉指电极光学标定方法及系统

本发明公开了一种陶瓷芯叉指电极光学标定方法及系统，涉及陶瓷芯叉指电极制造技术领域，所述系统包括光学/电镜测量单元、精密运动平台、图像采集与处理模块、数据处理模块、激光雕刻单元、数据存储与交互模块及光刻标准件；光学/电镜测量单元分辨率≥0.1μm，用于获取亚像素级电极图像；精密运动平台定位精度±1μm，实现均匀采样；数据处理模块执行三级异常值处理及加权截断平均算法，确保标定精度；激光雕刻单元与数据存储模块实现标定值物理留存与全链路数据追溯。