一种高温合金界面微痕量元素STEM-EDS定量分析方法

本发明公开了一种高温合金界面微痕量元素STEM‑EDS定量分析方法，属于材料微观分析技术领域。该方法包括：制备薄区厚度小于100nm的透射电镜样品；采用场发射或球差校正透射电镜在200‑300kV下进行STEM成像；先在2000×‑3000×下统计不同特征形貌界面及其数量占比，后在200k×‑300k×下在每类界面中分别选取一处代表性界面进行20‑30分钟EDS面扫描，期间启用漂移校正；根据EDS结果将界面分为弱偏聚界面和强偏聚界面；将数据划分样方，统计得到两类界面的元素质量百分含量的平均值及其95%置信水平及数量占比；计算目标元素最终含量。本发明解决了现有技术无法兼顾纳米尺度空间分辨率与定量统计代表性的问题，显著提高了分析结果的准确性和可重复性。