测试盒及半导体参数分析仪的测试系统

本申请公开一种测试盒及半导体参数分析仪的测试系统。测试盒中，第一开关单元、第二开关单元和待测器件设于所述屏蔽罩内；屏蔽夹具有导电功能，用于固定屏蔽罩；测试输入端连接所述半导体参数分析仪的测试端，所述测试输出端连接所述半导体参数分析仪的接地端，以与所述半导体参数分析仪之间构成测试通路；所述第一开关单元和所述第二开关单元在所述第一控制信号为导通信号时导通，以在所述测试输入端和所述测试输出端之间形成测试通路，对所述待测器件进行测试。本申请可以为待测器件的测试过程提供无干扰环境，保证测试环境不被外界的干扰、保证测试盒内漏电最低，还能够简化测试过程，缩短测试时间，提升测试效率。