一种采用透明电极的慢波硅光调制器

本发明公开了一种采用透明电极的慢波硅光调制器，包括：马赫‑曾德尔干涉结构，包含分束器、合束器和两个调制臂；每个调制臂由光子晶体线缺陷慢波波导构成，该光子晶体结构包括周期性排列的空气或介质孔阵列，并沿波导传播方向施加晶格漂移，以在保持强光‑物质相互作用的同时扩展光学带宽；高频行波电极结构，包括依次层叠于所述调制臂上方的：掺杂硅区、氧化铟锡（ITO）层和金属电极层；透明电极通过引入氧化铟锡作为过渡层，连接掺杂硅区与金属电极层，形成掺杂硅–ITO–金属混合等离子体结构传输高速射频信号，以降低微波介电损耗并提升高频响应。本发明首次在慢波调制器上引入透明电极，为克服慢波电光调制器的性能瓶颈提供了一条创新路径。